Разработка отечественной САПР приборно-технологического моделирования для микроэлектронных технологий

Раздел находится в стадии актуализации

Создание эффективной системы приборно-технологического моделирования (ПТМ) в настоящее время является одной из важных составляющих обеспечения технологической независимости проектирования и производства изделий микроэлектроники. Решение этой задачи включает в себя создание отечественных программных средств САПР ПТМ и системы практических рекомендаций и методик ПТМ, настроенных на конкретные потребности производственных предприятий с учетом доступного уровня отечественных технологий. В работе проанализированы возможности существующих САПР ПТМ. Рас-смотрены структура и задачи программных средств ПТМ. Проанализированы особенности ПТМ для отечественных микроэлектронных технологий. Приведены особенности приборно-технологического моделирования технологических маршрутов и приборов для реализации на базе отечественных микроэлектронных предприятий, в том числе для производственных процессов создания элементной базы ИС на основе низковольтной КМОП-технологии, биполярной технологии, планарных и вертикальных силовых МОП-транзисторов, интегральных преобразователей магнитного поля. Представлены характеристики разработанных программных модулей в составе отечественной САПР ПТМ – модулей технологического, приборного моделирования и визуализации результатов ПТМ. Показано, что данные программные модули обеспечивают возможность двумерного приборно-технологического моделирования для кремниевых КМОП- и BCD-технологий с проектными нормами 130 нм и выше.
Чаплыгин Юрий Александрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Красюков Антон Юрьевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Крупкина Татьяна Юрьевна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Балашов Александр Геннадьевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Лосев Владимир Вячеславович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru